Halbleiter-Lithografie
Die Musterübertragungsprozesse, die verwendet werden, um nanoskalige elektronische Strukturen wiederholt über Halbleiterwafer hinweg zu definieren.
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Entwickelte Strukturen, deren kollektive Wellenreaktion in erster Linie von der Subwellenlängengeometrie und nicht nur von der Massezusammensetzung bestimmt wird.
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